[发明专利]光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200910208089.X | 申请日： | 2009-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101727000A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 金柄郁;俞载元;郭恩珍;金云龙 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/075;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;张志楠 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物的电路线宽均匀性、分辨率、显影对比度、粘合性优异，特别是感光速度、残膜率和耐热性优异。本发明涉及使用在液晶显示装置电路、半导体集成电路等的精细电路制造中的光致抗蚀剂组合物，更具体地说，本发明涉及含有如下物质的光致抗蚀剂组合物：a)碱溶性树脂；b)光敏性化合物；c)胶体状无机物；和d)有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物含有：a)碱溶性树脂；b)光敏性化合物；c)胶体状无机物；和d)有机溶剂。
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