[发明专利]等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置。其对被处理体进行面内均匀性高的等离子体处理。以隔着电介质窗部件(3)与载置台(27)相对的方式设置天线(5)。该天线(5)，由各个长度相等、相互横向平行排列的直线状的多个天线部件(51)构成。该天线(5)的一端侧通过电源侧电路(61)连接至高频电源部(6)，并且其另一端侧通过接地侧电路(62)连接至接地点。在上述电源侧电路(61)和接地侧电路(62)的至少一方，设置有用于调整天线(5)的电位分布的电位分布调整用的电容器(7)，从所述高频电源部(6)通过各天线部件(51)至接地点的各高频路径的阻抗被设定为相互相等。

主权项

一种等离子体处理装置，其使被供有处理气体的处理容器内产生感应电场，将处理气体等离子体化并且对被载置于处理容器内的载置台的被处理体进行等离子体处理，该等离子体处理装置的特征在于，包括：天线，其以隔着处理气氛与所述载置台相对的方式被设置于该处理气氛之外，并且包括各个长度相等的、相互横向平行地排列而构成的多个直线状的天线部件；用于将高频电力供给至所述天线的高频电源部；用于将所述天线的一端侧与所述高频电源部连接的电源侧电路；用于将所述天线的另一端侧与接地点连接的接地侧电路；和电位分布调整用的电容器，其被设置在所述电源侧电路和接地侧电路的至少一方、并且用于对天线的电位分布进行调整，从所述高频电源部通过各天线部件至接地点的各高频路径的阻抗被设定为相互相等。