[发明专利]逻辑电路有效
申请号: | 200910209087.2 | 申请日: | 2009-10-30 |
公开(公告)号: | CN101728383A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 小山润;秋元健吾;津吹将志 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L29/786;H03K19/094 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 秦晨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种逻辑电路。本发明的目标是要将使用氧化物半导体的晶体管应用于包括增强型晶体管的逻辑电路。该逻辑电路包括耗尽型晶体管101和增强型晶体管102。晶体管101和102的每个包括栅电极、栅极绝缘层、第一氧化物半导体层、第二氧化物半导体层、源电极、及漏电极。晶体管102包括设置于第一氧化物半导体层在源电极和漏电极之间的区域之上的降低防止层。 | ||
搜索关键词: | 逻辑电路 | ||
【主权项】:
一种逻辑电路,包括:具有栅极、源极、及漏极的耗尽型晶体管,具有栅极、源极、及漏极的增强型晶体管,与增强型晶体管的栅极电连接的第一线端;以及与所述增强型晶体管连接到所述耗尽型晶体管的那部分电连接的第二线端,其中高电源电压端与耗尽型晶体管的源极和漏极中的一个电连接,并且耗尽型晶体管的栅极与耗尽型晶体管的源极和漏极中的另一个电连接;其中增强型晶体管的源极和漏极中的一个与耗尽型晶体管的源极和漏极中的另一个电连接,并且低电源电压端与增强型晶体管的源极和漏极中的另一个电连接,其中耗尽型晶体管和增强型晶体管的每个包括:栅电极;设置于栅电极之上的栅极绝缘层;设置于栅极绝缘层之上的第一氧化物半导体层;与第一氧化物半导体层的部分接触的源区和漏区,其中源区和漏区是第二氧化物半导体层;与源区接触的源电极;以及与漏区接触的漏电极,其中增强型晶体管包括在所述第一氧化物半导体层、源电极及漏电极之上的降低防止层,以及其中耗尽型晶体管不包括在所述第一氧化物半导体层、源电极、及漏电极之上的降低防止层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的