[发明专利]降低随机良率缺陷的方法及系统有效
| 申请号： | 200910209633.2 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN102054067A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 仝仰山 | 申请（专利权）人： | 新思科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L27/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种降低随机良率缺陷的方法与装置。半导体制程中意外掉落的微粒子容易造成电路布局中局部线路的开路或短路，本发明降低随机良率缺陷的方法是用于更正后绕线布局中的很可能产生开路或短路的线路。将该待更正线路中每一个的开路及短路的临界面积分别乘以权重并累加，且同时进行线路扩展及线路加宽的不同调整而使得该累加值改变，从而得到这些线路的线路扩展及线路加宽的最佳化更正。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 随机 缺陷 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种降低随机良率缺陷的方法，其特征在于包含：提供一设计布局；根据该设计布局进行临界面积分析而得各待更正线路的开路临界面积及短路临界面积；将该待更正线路中每一个的开路临界面积及短路临界面积分别运算并累加得到一累加值；以及对该待更正线路中每一个同时进行线路扩展及线路加宽的不同调整而使得该累加值改变，从而得到该些待更正线路的线路扩展及线路加宽的最佳化更正组合。
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