[发明专利]溅射靶材的表面处理方法有效
申请号: | 200910211713.1 | 申请日: | 2009-11-10 |
公开(公告)号: | CN101700616A | 公开(公告)日: | 2010-05-05 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;汪涛;刘庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B23P17/00 | 分类号: | B23P17/00;B23Q11/10;B24B29/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 315400 浙江省余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种溅射靶材的表面处理方法,包括:提供溅射靶材,所述溅射靶材为铝或铝合金;对所述溅射靶材的表面进行车床加工,并在车屑过程中采用酒精冷却;采用抛光件对车屑后的溅射靶材进行抛光。与现有技术相比,本发明可以及时冷却车床加工过程中产生的热量,使得车床加工时较少或不产生积屑,避免了积屑对溅射靶材表面造成损伤,提高了溅射靶材表面的平整度和光洁度,制作出符合工艺要求的溅射靶材产品。 | ||
搜索关键词: | 溅射 表面 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种溅射靶材的表面处理方法,其特征在于,所述方法包括:提供溅射靶材,所述溅射靶材为铝或铝合金;对所述溅射靶材的表面进行车床加工,并在车屑过程中采用酒精冷却;采用抛光件对所述车屑后的溅射靶材的表面进行抛光。
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