[发明专利]蒸发舟夹紧装置在审
| 申请号： | 200910215555.7 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN101736294A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018 广东省东莞南城区宏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸发舟夹紧装置，适用于对真空镀膜设备中的蒸发舟进行导电及夹紧，其包括电极件及压紧件。电极件开设有定位槽，蒸发舟的安装端收容于定位槽内，压紧件与电极件枢接并抵压于收容于定位槽内的蒸发舟的安装端上。由于本发明的压紧件与电极件枢接并抵压于蒸发舟的安装端上，当需更换蒸发舟时，仅需扳动压紧件即可，因而使得蒸发舟更换方便、快速且简单。同时，由于本发明的电极件开设有定位槽，使得蒸发舟的安装端能快速、准确地在电极件上定位，并借助本发明的压紧件对蒸发舟安装端的抵压，从而使定位于电极件上的蒸发舟被夹紧于压紧件与电极件之间，因而有效地阻止蒸发舟的偏移，使蒸发舟与电极件接触良好，从而延长了蒸发舟寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 夹紧 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发舟夹紧装置，适用于对真空镀膜设备中的蒸发舟进行导电及夹紧，其特征在于：所述蒸发舟夹紧装置包括电极件及压紧件，所述电极件开设有定位槽，所述蒸发舟的安装端收容于所述定位槽内，所述压紧件与所述电极件枢接并抵压于收容于所述定位槽内的蒸发舟的安装端上。
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