[发明专利]气浮式基板传动机构无效
| 申请号： | 200910217333.9 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101759017A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;范振华;覃海;蓝劾 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G49/07;B65G35/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018 广东省东莞南城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气浮式基板传动机构，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。本发明气浮式基板传动机构的气板上表面边缘的喷气量大于气板中心的喷气量，解决了基板输送时气体容易集中到基板下部中心位置导致基板变形的问题，使基板始终处于平整的悬浮状态；另，本发明气浮式基板传动机构采用非接触式输送方式，具有无噪音、无污染、免维修、输送效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮式基板 传动 机构 | ||
【主权项】：
一种气浮式基板传动机构，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，其特征在于：所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
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