[发明专利]主轴真空动密封系统无效
| 申请号： | 200910218642.8 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102053488A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王朝伟;徐震 | 申请（专利权）人： | 西北机器有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;F16J15/40 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 李子安 |
| 地址： | 710119 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种主轴真空动密封系统，包括真空气源，以及控制整个系统中真空启闭及大小的精密真空度检测开关，所述真空气源出口通过真空管道与真空电磁阀入口相连接，所述真空电磁阀出口通过真空管道与真空陷阱相连接，所述真空陷阱通过真空管道与主轴旋转密封模块入口相连接，所述真空陷阱与主轴旋转密封模块之间的管道上设置有精密真空度检测开关。本发明其结构合理、生产工艺简单、装夹牢固、不对片料造成任何污染、自动化程度高、生产成本低，便于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 主轴 真空 密封 系统 | ||
【主权项】：
一种主轴真空动密封系统，包括真空气源(1)，以及控制整个系统中真空启闭及大小的精密真空度检测开关(5)，其特征在于：所述真空气源(1)出口通过真空管道与真空电磁阀(2)入口相连接，所述真空电磁阀(2)出口通过真空管道与真空陷阱(3)相连接，所述真空陷阱(3)通过真空管道与主轴旋转密封模块(4)入口相连接，所述真空陷阱(3)与主轴旋转密封模块(4)之间的管道上设置有精密真空度检测开关(5)。
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