[发明专利]多种化学品分类排放回收系统有效
| 申请号： | 200910220034.0 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102024675A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王绍勇;汪明波 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于半导体设备上多种化学品的分类排放或回收的装置，具体为一种多种化学品分类排放回收系统，在工艺处理单元的化学品使用后，对要排放的多种化学品进行自动分类排放或回收，多用于半导体制成的显影设备清洗设备刻蚀设备等。该系统设有排放废液收集管、分类排放管、旋转电机、旋转支臂，排放废液收集管安装于旋转支臂上，旋转支臂与分类排放废液管支架上的旋转电机通过轴承连接，旋转电机通过驱动旋转支臂旋转带动排放废液收集管与相应的分类排放管对应。采用本发明可以克服直接排放浪费，解决再回收利用和多种化学品分类排放的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 多种 化学品 分类 排放 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种多种化学品分类排放回收系统，其特征在于：该系统设有排放废液收集管、分类排放管、旋转电机、旋转支臂，排放废液收集管安装于旋转支臂上，旋转支臂与分类排放废液管支架上的旋转电机通过轴承连接，旋转电机通过驱动旋转支臂旋转带动排放废液收集管与相应的分类排放管对应。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
