[发明专利]X射线晶体定向仪

摘要

本发明涉及一种测量晶体晶向偏差或晶棒加工晶面的晶向位置的X射线定向仪，其结构是在定向仪的两个样品台的底座上分别设有样品板，托板的一端与样品板连接，另一端的底部装有可起支撑作用的轴承滚轮，导轨内装有可前后移动的T型镶条并固定在托板上，T型镶条上面各自分别连接两个样品台的下层板和底板，右样品台的上层板通过旋转轴与下层板连接，上层板上设有滚轮组，三角形顶针与样品板连接，可移护套与三角形顶针连接，弹簧连接到可移护套上，左样品台上的两个圆柱固定在底板上。为了使晶棒能够达到一次定向即可加工的目的，另外设计了夹紧装置和粘接装置配套使用，使晶面最小偏差角的定向简单，检测效果好，缩短送检周期。

主权项

一种X射线晶体定向仪，包括台体(1)和设置在台体(1)上的X光管套(5)、两个光栏(4)、测角仪(2)和测角仪(7)，设置在测角仪(2)和测角仪(7)上的手轮(9)以及与测角仪同轴安装的左样品台(3)和右样品台(6)及计数管(8)，其特征在于：右样品台(6)的底座(25)上装有样品板(23)，托板(16)的一端与样品板(23)连接，托板(16)另一端的底部装有可起支撑作用的轴承滚轮(26)，导轨(15)内装有可前后移动的T型镶条(14)并固定在托板(16)上，T型镶条(14)上面连接下层板(28)，上层板(27)通过旋转轴(20)与下层板(28)连接，上层板(27)上设有滚轮组(12)，三角形顶针(19)与样品板(23)连接，可移护套(10)套接在三角形顶针(19)上，弹簧(11)连接到可移护套(10)上；左样品台(3)的底座(25)上装有左样品板(34)，左托板(33)的一端与左样品板(34)连接，左托板(33)另一端的底部装有可起支撑作用的轴承滚轮(26)，左导轨(29)内装有可前后移动的左T型镶条(30)并固定在左托板(33)上，左T型镶条(30)上连接底板(31)，两个圆柱(32)固定在底板(31)上。