[发明专利]改良的基板干燥系统及干燥基板的方法

摘要

本发明是有关于一种改良的基板干燥系统及干燥基板的方法，该改良的基板干燥系统包括：一基板容置槽、一第一液体容置槽、一高频振动装置、一第二液体注入装置、一第一排放装置、一第二排放装置、一气体输入装置、一气体流量控制装置、一层流装置、及一有机气体排放装置。该改良的干燥基板的方法，可使用该高频振动装置以雾化一第一液体，并通过该气体流量控制装置与该层流装置，以有效地执行一基板的干燥。

主权项

一种改良的基板干燥系统，可应用于干燥一基板，其特征在于其包括：一基板容置槽，可将该基板容置其中；一第一液体容置槽，装设于该基板容置槽的一第一侧边，以容置一第一液体；一高频振动装置，设置于该第一液体容置槽的内部，该高频振动装置可产生高频振动以将该第一液体雾化成为一雾化第一液体；一第二液体注入装置，装设于基板容置槽的一第二侧边，通过该第二液体注入装置可输入具有一适当温度的一第二液体于基板容置槽内，以浸泡基板，使得基板保持中温状态；一第一排放装置，装设于基板容置槽的一第三侧边，该第三侧边与第一侧边及第二侧边为相邻边，该第一排放装置用以缓慢地排放该第二液体；一第二排放装置，装设于基板容置槽的第三侧边，该第二排放装置用以全速地排放第二液体；一气体输入装置，连接于第一液体容置槽，通过该气体输入装置可输入一第一气体于第一液体容置槽，该第一气体可将该雾化第一液体运送入已注有第二液体的基板容置槽内，当控制第一排放装置与第二排放装置的排放速率，而将第二液体从基板容置槽内排放出去时，基板表面的水分子受到雾化第一液体与第二液体的表面张力差距的影响，而被拉入第二液体之内，达到了干燥基板表面的效果；及一有机气体排放装置，装设于基板容置槽的第二侧边，该有机气体排放装置可于基板干燥完成之后，将雾化第一液体及第一气体排出基板容置槽。