[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

一种图像传感器及其制造方法，该图像传感器包括：沟槽，形成在半导体衬底中；第一反射部，形成在该沟槽中并具有倾斜曲面；第二反射部，形成在第一反射部上，使得沟槽的剩余空间由该第二反射部填充；以及垂直型光电二极管，形成在衬底的介于沟槽之间的区域上。所述制造图像传感器的方法包括以下步骤：在半导体衬底中形成沟槽；在沟槽中形成具有倾斜曲面的第一反射部；在第一反射部上形成第二反射部；使得沟槽的剩余空间由第二反射部填充；以及在衬底的介于沟槽之间的区域上形成垂直型光电二极管。本发明能够扩大光电二极管的光接收面积，使得光电二极管的光转换效率得以最大化。

主权项

一种方法，包括以下步骤：在半导体衬底中形成沟槽；在所述沟槽中形成具有倾斜曲面的第一反射部；在所述第一反射部上方形成第二反射部，使得所述沟槽的剩余空间由所述第二反射部填充；以及在所述衬底的邻近沟槽的区域上形成垂直型光电二极管。