[发明专利]高占空比碲镉汞长波红外光电导面阵探测器

摘要

本发明公开了一种高占空比碲镉汞长波红外光电导面阵探测器，器件结构包括：衬底，此衬底是采用激光打孔机打的直径约为60微米面阵的微孔中电镀金的蓝宝石。碲镉汞材料，该晶片包含双面精抛处理且长阳极氧化膜，的碲镉汞晶片，其中与环氧树脂胶接触的一面增加了一层ZnS抗反膜。环氧树脂胶，此胶的目的是把有ZnS的碲镉汞材料面粘结在衬底上。电极，此电极制作在刻穿碲镉汞晶片后溶解掉环氧树脂胶，形成的与电镀金相对应的面阵及周围部分碲镉汞上，通过井伸工艺连接碲镉汞与电镀金。蓝宝石电路，此电路与芯片背面的电镀金通过蒸镀的铟柱互联，使信号读出。

主权项

一种高占空比碲镉汞长波红外光电导面阵探测器，经阳极氧化处理的碲镉汞材料(12)的带有阳极氧化层(11)的一面镀ZnS抗反膜(10)后通过环氧树脂胶(9)与蓝宝石衬底(7)相连，其特征在于：所述的探测器的电极是从蓝宝石衬底(7)的背面引出的，在所述的蓝宝石衬底(7)上芯片列阵所处的相应位置用激光打出微孔列阵，通过电镀在微孔列阵中填满电镀金(8)，对处理好的碲镉汞材料(12)光刻刻穿碲镉汞，制备出对应的面阵孔，通过井伸工艺将碲镉汞与电镀金(8)连在一起后，在蓝宝石衬底(7)背面的微孔列阵上长芯片铟柱(5)，芯片铟柱(5)与电路板上的电路板铟柱(4)互连，将电信号从探测器衬底的背面引出。