[发明专利]基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺有效
| 申请号： | 200910226760.3 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101738184A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴学忠;李圣怡;谢立强;肖定邦;董培涛;王浩旭;满海鸥;牛正一;习翔 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01L1/16 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清;陈晖 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底和陀螺总成，陀螺总成包括检测梁、一根以上的驱动梁、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁与检测梁呈十字交叉状布置，所述驱动梁的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁的外表面上，所述检测电极装设于检测梁的外表面上。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、灵敏度高、制造工艺简单、成品率高的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 剪应力 检测 十字 结构 石英 微机 陀螺 | ||
【主权项】：
一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底(1)和陀螺总成，其特征在于：所述陀螺总成包括检测梁(3)、一根以上的驱动梁(4)、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁(4)与检测梁(3)呈十字交叉状布置，所述驱动梁(4)的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁(4)的外表面上，所述检测电极装设于检测梁(3)的外表面上。
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