[发明专利]ICP光源功率稳定电路无效
| 申请号： | 200910232137.9 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101707842A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘召贵;张树龙;沈鹏飞;夏义峰 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B41/24 | 分类号： | H05B41/24;H05B41/36 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ICP光源功率稳定电路，包括高频信号源、功率推动电路、功率放大电路、输出匹配电路和工作线圈，其还包括一鉴相反馈电路和一自动增益衰减电路，所述鉴相反馈电路与自动增益衰减电路连接，所述鉴相反馈电路、自动增益衰减电路位于所述功率推动电路与输出匹配电路之间，用于将所述输出匹配电路的信号反馈给所述功率推动电路。在该方案中，功率推动电路与输出匹配电路之间增设鉴相反馈电路和自动增益衰减电路，使ICP光源实现闭环控制，增强了ICP光源的输出功率的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | icp 光源 功率 稳定 电路 | ||
【主权项】：
一种ICP光源功率稳定电路，包括高频信号源、功率推动电路、功率放大电路、输出匹配电路和工作线圈，其特征在于：其还包括一鉴相反馈电路和一自动增益衰减电路，所述鉴相反馈电路与自动增益衰减电路连接，所述鉴相反馈电路、自动增益衰减电路位于所述功率推动电路与输出匹配电路之间，用于将所述输出匹配电路的信号反馈给所述功率推动电路。
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