[发明专利]活塞式高精度微位移传感器及其检测方法无效
申请号: | 200910234013.4 | 申请日: | 2009-11-19 |
公开(公告)号: | CN101701807A | 公开(公告)日: | 2010-05-05 |
发明(设计)人: | 赵东标;陆永华;刘凯;章永年;陈盛 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | G01B13/02 | 分类号: | G01B13/02;G01B7/02 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 唐小红 |
地址: | 210016 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提出了活塞式高精度微位移传感器及其检测方法,属微位移检测技术领域。该传感器包括气缸缸体(105)、连接法兰(103)、微行程管(110);其中气缸缸体(105)被活塞(107)分成气体装载腔(106)和液体装载腔(108)两个腔;连接法兰(103)通过气缸活塞杆(104)与活塞(107)相连;液体装载腔(108)经过液体缓冲器(109)与微行程管(110)一端相连通,气缸缸体(105)与微行程管(110)另一端相连通;微行程管(110)内装有电阻丝(112),该电阻丝(112)与一电源形成检测电路。通过检测电阻丝(112)的阻值大小实现对微位移信息的检测。本发明具有低成本、高精度的优点。 | ||
搜索关键词: | 活塞 高精度 位移 传感器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种活塞式高精度微位移传感器,其特征在于:包括气缸缸体(105)、连接法兰(103)、微行程管(110);其中气缸缸体(105)被活塞(107)分成气体装载腔(106)和液体装载腔(108)两个腔;连接法兰(103)位于气体装载腔(106)一侧,并通过气缸活塞杆(104)与活塞(107)相连;液体装载腔(108)经过液体缓冲器(109)与微行程管(110)一端相连通,气缸缸体(105)与微行程管(110)另一端相连通;微行程管(110)内装有电阻丝(112),该电阻丝(112)与一电源形成检测电路。
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