[发明专利]一种表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底及其制备方法无效
| 申请号： | 200910234587.1 | 申请日： | 2009-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN101716839A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 刘凡新;王振林 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | B32B15/01 | 分类号： | B32B15/01;C23C14/46;G01N21/65 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底及其制备方法，该表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底由不同相合金材料组成的纳米级结构衬底和沉积在衬底上的纳米级厚度的金属材料组成。本发明提供的金属纳米结构衬底具有很好的拉曼增强效应，可广泛应用于物理学、化学、材料学和生物医学等领域，本发明提供的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底的制备方法，以不同相组成的合金材料为原始模板，采用选择性等离子刻蚀法，刻蚀出纳米结构的衬底，然后采用离子束溅射的方法，在纳米结构的衬底上沉积纳米厚度的金属材料，可制备得到基于不同相金属材料的表面增强拉曼衬底，且工业技术成熟，生产成本低，可实现工业化大生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 增强 拉曼用 大面积 金属 纳米 结构 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底，其特征在于，它由不同相合金材料组成的纳米级结构的衬底和沉积在衬底上的纳米级厚度的金属材料组成。
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