[发明专利]一种微波同轴源原子氧地面模拟设备

摘要

本发明涉及一种同轴微波源原子氧地面模拟设备，属于航空航天领域。该模拟设备包括：微波源，波导及同轴转换系统，供氧系统，放电腔，磁体，中性化板，试样架，积分球，测试室等。微波源与波导及同轴转换系统相连，供氧系统与放电室相连；波导管将微波能量输送到放电室中，微波能使氧气解离为高密度的氧等离子体；氧等离子体在中心化板上得到电子，形成原子氧束(○)，与试样架上的试样作用；试验过程中，可以在不暴露大气的条件，用积分球(8)测试材料的反射率。本发明具有原子氧通量密度大、能够连续工作、能够原位测量试样反射率及多试样同时试验的特点，可大幅度缩短试验时间、提高试验的效率和可靠性。

主权项

一种同轴微波源原子氧地面模拟设备，其特征在于：包括微波源(1)，波导及同轴转换系统(2)，供氧系统(3)，放电腔(4)，磁体(5)，中性化板(6)，试样架(7)，积分球(8)，测试室(9)；其中微波源与波导及同轴转换系统相连，波导及同轴转换系统(2)将微波源(1)产生的能量传输放电腔中；供氧系统与放电室相连，将放电腔(4)中的氧分子离解为高密度氧等离子体；经中性化板(5)上的负偏压加速，并得到电子，形成具有3～8eV的原子氧束，辐照到试样架(6)的试样上。