[发明专利]气体传感气室无效
| 申请号： | 200910236387.X | 申请日： | 2009-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN102042958A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 鞠昱;王欣;孙可;袁海庆;谢亮;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种气体传感气室，包括：一圆筒形气腔，其中间段镂空，在圆柱的壁面形成三个矩形开口；一前盖，该前盖为圆盘形状，该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端；一后盖，该后盖为圆盘形状，该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感 | ||
【主权项】：
一种气体传感气室，包括：一圆筒形气腔，其中间段镂空，在圆柱的壁面形成三个矩形开口；一前盖，该前盖为圆盘形状，该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端；一后盖，该后盖为圆盘形状，该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910236387.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
