[发明专利]检测TFT阵列基板的设备及方法有效
申请号: | 200910236438.9 | 申请日: | 2009-10-21 |
公开(公告)号: | CN102043266A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 白国晓;田超 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种检测TFT阵列基板的设备及方法,涉及液晶显示技术领域,能够利用一台设备检测出TFT阵列基板上的电学性和光学性不良,简化了检测工序,提高了检测效率。本发明实施例提供的设备包括:包括承载待检测TFT阵列基板的透光载台,透光载台的一侧设有光源,另一侧设有与透光载台平行的调制器;光源发出的光线透过第一偏光片垂直照射到透光载台;调制器包括:液晶层和分别位于液晶层两侧的两个透明基板层,并且其中一个远离透光载台的透明基板层为导电透明基板层,该导电透明基板层上设有第二偏光片;该设备还包括光接收器,光接收器接收光源发射出的透过透光载台、待测TFT阵列基板和调制器的光线。 | ||
搜索关键词: | 检测 tft 阵列 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种检测TFT阵列基板的设备,其特征在于,包括承载待检测TFT阵列基板的透光载台,所述透光载台的一侧设有光源,另一侧设有与所述透光载台平行的调制器(Modulator);所述光源发出的光线透过第一偏光片垂直照射到所述透光载台;所述调制器包括:液晶层和分别位于液晶层两侧的两个透明基板层,并且其中一个远离所述透光载台的透明基板层为导电透明基板层,所述导电透明基板层上设有第二偏光片;所述设备还包括光接收器(Camera),所述光接收器接收光源发射出的透过所述透光载台、待测TFT阵列基板和调制器的光线。
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