[发明专利]静电振镜及其制作方法

摘要

本发明涉及一种静电振镜及其制作方法，该静电振镜由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，衬底至少表面绝缘；驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点、导线，驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜中心线为对称线设置于中心线两侧，用于控制振镜一个维度的振动；着陆电极两两以中心线为对称线设置于中心线两侧，并通过键合与振镜层相连，使得着陆电极与振镜层悬臂梁电位相同；振镜层包括：振镜、支架、悬臂梁，振镜两端与悬臂梁连接，支架固定于衬底，悬臂梁与支架连接，为鱼骨形结构，具有末端可接触到着陆电极的多根不同长度的齿状子梁，允许振镜产生扭动。本发明的静电振镜制造工艺简单、成本低，可靠性高。

主权项

一种静电振镜，由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，其特征在于，所述衬底至少表面绝缘；所述驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点以及导线，所述驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜的中心线为对称线设置于所述中心线两侧，用于控制振镜一个维度的振动；所述着陆电极两两以所述中心线为对称线设置于所述中心线两侧，并通过键合与所述振镜层相连，使得所述着陆电极与所述振镜层的悬臂梁电位相同；所述振镜层包括：振镜、支架以及悬臂梁，所述振镜两端与所述悬臂梁连接，所述支架固定于所述衬底上，所述悬臂梁与所述支架连接，为鱼骨形结构，具有末端可接触到所述着陆电极的多根不同长度的齿状子梁，可允许连接的所述振镜产生扭动。