[发明专利]一种微机械梳齿电容器无效
| 申请号： | 200910237505.9 | 申请日： | 2009-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102064021A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 郭中洋;杨振川;闫桂珍 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01G5/40 | 分类号： | H01G5/40;H01G5/019;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机械梳齿电容器，涉及微电子机械领域，所述微机械梳齿电容器包括：固定梳齿电极和可动梳齿电极，所述固定梳齿电极和可动梳齿电极交叠成解耦梳齿电容器，当所述可动梳齿电极在外力作用下，与所述固定梳齿电极相对离面运动时，所述微机械梳齿电容器的电容保持不变。本发明的微机械梳齿电容器成本低、结构简单，可以有效解决微机械陀螺仪执行器的模态耦合问题，以及微机械陀螺仪和加速度传感器的交叉轴灵敏度问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 梳齿 电容器 | ||
【主权项】：
一种微机械梳齿电容器，其特征在于，包括：固定梳齿电极和可动梳齿电极，所述固定梳齿电极和可动梳齿电极交叠成解耦梳齿电容器，当所述可动梳齿电极在外力作用下，与所述固定梳齿电极相对离面运动时，所述微机械梳齿电容器的电容保持不变。
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