[发明专利]一种大面积靶材与背板的快速焊接方法

摘要

本发明属于靶材的焊接技术领域，特别涉及一种大面积靶材与背板(又叫靶托)的快速焊接方法。将靶材待焊面的表面粗糙化、清洗并烘干；将靶材和背板之间撒上一定厚度的金属粉末，然后放入大电流装置中，在一定的保护气氛下，在待焊接靶材和背板的两端施加一定的压力，并通过高频脉冲电流进行焊接，电流大小为1000A～9000A，通电1min～5min，即完成焊接。该方法能够对设备要求低，靶材与背板待焊面的加工要求低，焊接可靠，所需时间短，生产效率高，能适应绝大多数金属靶材与异种金属背板之间的焊接，同时保证靶材的显微组织性能不受影响，靶材与背板的焊合强度高，可靠性高，操作简单，可重复性好，生产效率高。

主权项

一种大面积靶材与背板的快速焊接方法，其特征在于，该方法步骤如下：(1)将靶材待焊面的表面粗糙化，使表面粗糙度Rz控制在10μm～500μm之间，然后将靶材和背板的待焊面去油、清洗并烘干；(2)将靶材和背板待焊面之间撒上厚度为1mm～5mm的金属粉末，然后放入大电流装置中，在真空气氛或保护性气体氛围下，在待焊接靶材和背板的两端施加不小于8MPa的压力，并通过高频脉冲电流进行焊接，电流大小为1000A～9000A，通电1min～5min，即完成焊接。