[发明专利]一种制备Er2O3涂层的方法

摘要

本发明属于反应溅射技术领域，特别涉及一种制备Er2O3涂层的方法。将石英基底放置在加热器上，安装靶材，调节靶基距；抽真空至真空度不大于3.0×10-3Pa，将基底加热至700～800℃；通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.04～0.08Pa，开溅射，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，移开挡板，开始沉积；沉积20～40分钟后，关挡板，关溅射，断开氩气和水蒸气，切断加热电源，关真空系统，得Er2O3涂层。本发明反应溅射提高了溅射效率，水蒸气作为反应气体，同时防止了靶材表面的氧化，提高了沉积速率的可控性。本发明是一种沉积速率既快又可控的Er2O3涂层制备方法。

主权项

一种制备Er2O3涂层的方法，其特征在于，以纯金属Er靶为靶材，采用反应溅射法制备Er2O3涂层，包括以下步骤：(1)将石英基底放置在加热器上，安装靶材，调节靶基距为30～50mm；(2)抽真空至真空度不大于3.0×10-3Pa，打开加热器电源，将基底加热至700～800℃；(3)通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.04～0.08Pa，开溅射，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，移开挡板，开始沉积；(4)沉积20～40分钟后，关挡板，关溅射，断开氩气和水蒸气，切断加热电源，关真空系统，得Er2O3涂层。