[发明专利]一种太阳能电池隔离层及其制备方法有效
| 申请号： | 200910243035.7 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101752431A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 屈飞;李弢;王磊;蒋文文 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 童晓琳 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于太阳能电池技术领域，特别涉及一种太阳能电池隔离层及其制备方法。在不锈钢箔基底上以水蒸气作为反应气体，采用反应溅射法制备Er2O3隔离层：安装靶材，调节靶基距；抽真空至真空度不大于3.0×10-3pa，将基底加热至600～700℃；通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.01～0.04Pa，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，沉积20～40分钟，得Er2O3隔离层。反应溅射提高了溅射效率，水蒸气作为反应气体，同时防止了靶材表面和不锈钢箔的氧化，提高了沉积速率的可控性，可满足工业化制备要求，制备的Er2O3隔离层结晶较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 隔离 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池隔离层，其特征在于，该隔离层为Er2O3层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
