[发明专利]一种光刻技术中实现对准偏差测量的装置和方法

摘要

本发明公开了一种光刻技术中实现对准偏差测量的方法和光刻游标尺，该方法和装置应用于光刻技术领域。光刻游标尺包括：多条游标尺的短尺齿设置在第一层光刻板图形中，并且各短尺齿等间距排列；多条游标尺的长尺齿设置在第二层光刻板图形中，该长尺齿与所述短尺齿交错排列，并且以长尺齿正中的一条尺齿为原点，该原点正负两端的长尺齿与该原点间隔的距离分别为长尺齿所在坐标的绝对值乘上游标尺的分辨率的二倍所得乘积加上长尺齿距离原点的原始距离，长尺齿与短尺齿组合形成一幅游标尺，其中，所述原始距离为所述长尺齿与原点之间所有长尺齿和短尺齿的宽度值之和。应用本发明实施例提供的方法和装置能够克服现有技术中光刻游标尺读数困难的问题。

主权项

一种光刻游标尺的生成方法，其特征在于，包括：在第一层光刻板图形中设置多条游标尺的短尺齿，并且所述短尺齿等间距排列；在第二层光刻板图形中设置多条游标尺的长尺齿，并且所述长尺齿等间距排列；第一层光刻板图形与第二层光刻板图形重叠时，长尺齿与短尺齿交错排列，短尺齿的宽度等于相邻两个长尺齿的间距；以长尺齿正中的一条尺齿为原点，该原点正负两端的长尺齿以所述原点为中心分别向两端移动对应距离，长尺齿与短尺齿组合形成一幅游标尺，其中，所述对应距离等于待移动的长尺齿所在坐标的绝对值乘上预设分辨率的二倍。