[发明专利]一种带有内衬栅网的多级降压收集极及其制法和应用无效
| 申请号： | 200910244510.2 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102117725A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王自成;董芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | H01J23/027 | 分类号： | H01J23/027;H01J9/14;H01J25/34;H01J25/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种带有内衬栅网的多级降压收集极，是在多级降压收集极的内表面镶衬有金属栅网，以抑制二次电子发射的原理设计。其中金属栅网材料是镍、钼、钨、无氧铜或不锈钢，厚度为0.1～0.3mm，网孔密度为50～200目。制备方法是将平面金属栅网以冲压或卷压方式制作而成。本发明采用在多级降压收集极的电极内表面镶衬金属栅网的方法，抑制了二次电子的发射，提高了多级降压收集极的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 内衬 多级 降压 收集 及其 制法 应用 | ||
【主权项】：
一种带有内衬栅网的多级降压收集极，是在多级降压收集极的内表面镶衬有金属栅网，以抑制二次电子发射的原理设计。
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