[发明专利]光学式侦测方法、光学式微机电侦测计及其制法无效
| 申请号： | 200910246798.7 | 申请日： | 2009-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102079501A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王传蔚;徐新惠;吕志宏 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01P15/093 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学式侦测方法、光学式微机电侦测计及其制法，该光学式微机电侦测计，包含：一个基板；在该基板一区域内的至少一个光电二极管；位在该基板上方的隔离壁，包围该光电二极管区域；以及在该光电二极管上方的至少一个动件，该至少一个动件具有开孔可容许光线穿越到达光电二极管，其中于该至少一个动件移动时，改变穿越该开孔到达光电二极管的光量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 侦测 方法 式微 机电 及其 制法 | ||
【主权项】：
一种光学式微机电侦测计，其特征在于，包含：一个基板；在该基板一区域内的至少一个光电二极管；位在该基板上方的隔离壁，包围该光电二极管区域；以及在该光电二极管上方的至少一个动件，该至少一个动件具有开孔可容许光线穿越到达光电二极管，其中于该至少一个动件移动时，改变穿越该开孔到达光电二极管的光量。
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