[发明专利]制造蓝光刻录光盘的生产系统及生产方法

摘要

本发明公开了一种制造蓝光刻录光盘的生产系统，包括传输带、第一溅镀站、第二溅镀站、染料涂布机构、旋涂固化机构、清边机构及检测机构，清边机构包括第一清边机构及第二清边机构；第一溅镀站与第二溅镀站之间设置有染料涂布机构，第二溅镀站与旋涂固化机构之间设置有第一清边机构，旋涂固化机构与检测机构连接，其旋涂固化机构包括第一旋涂固化机构、第二旋涂固化机构及第三旋涂固化机构，第一旋涂固化机构与第一清边机构连接，第二清边机构连接于第一旋涂固化机构与第二旋涂固化机构之间，第三旋涂固化机构与检测机构连接；该系统大大提高了蓝光刻录光盘的质量且降低生产成本。另，本发明还公开了一种蓝光刻录光盘的生产方法。

主权项

一种制造蓝光刻录光盘的生产系统，其包括传输带、第一溅镀站、第二溅镀站、染料涂布机构、旋涂固化机构、清边机构及检测机构，所述第一溅镀站用于溅镀金属反射层，所述第二溅镀站用于溅镀缓冲层，所述染料涂布机构用于旋涂染料层并进行检测和烘干，所述旋涂固化机构用于旋涂保护层并进行固化，所述清边机构用于清理基片周边有效区域外的形成物，所述检测机构用于检测质量；所述清边机构包括第一清边机构及第二清边机构；所述第一溅镀站与所述第二溅镀站之间设置有所述染料涂布机构，所述第二溅镀站与所述旋涂固化机构之间设置有所述第一清边机构，所述旋涂固化机构与所述检测机构连接，其特征在于：所述染料涂布机构包括第一染料碗、扫描仪及烘烤箱，所述第一染料碗具有下料手，所述第一染料碗通过传输带与所述第一溅镀站连接，所述扫描仪连接于所述第一染料碗与所述烘烤箱之间，所述烘烤箱与所述第二溅镀站连接；所述旋涂固化机构包括第一旋涂固化机构、第二旋涂固化机构及第三旋涂固化机构，所述第一旋涂固化机构与所述第一清边机构连接，所述第三旋涂固化机构与所述检测机构连接，所述第一旋涂固化机构包括并列设置的第一旋涂碗及第一固化单元，所述第二旋涂固化机构包括并列设置的第二旋涂碗及第二固化单元，所述第三旋涂固化机构包括并列设置的第三旋涂碗及第三固化单元，所述第一旋涂碗、第二旋涂碗及第三旋涂碗均具有下料手；所述第二清边机构连接于所述第一旋涂固化机构与所述第二旋涂固化机构之间。