[发明专利]真空腔定位机构在审
| 申请号： | 200910246916.4 | 申请日： | 2009-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101814452A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;郭远伦;王曼媛;王勇 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018 广东省东莞南城区宏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空腔定位机构，适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑，所述真空腔定位机构包括支架、支臂、铰链轴及定位杆，所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接，所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接，所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔，所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔，所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。本发明具有定位及支撑功能，结构简单、性能安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 定位 机构 | ||
【主权项】：
一种真空腔定位机构，适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑，其特征在于：所述真空腔定位机构包括支架、支臂、铰链轴及定位杆，所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接，所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接，所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔，所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔，所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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