[发明专利]确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法有效
| 申请号： | 200910247324.4 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102110626A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 楠暖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王一斌;王琦 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明中公开了一种确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法，该方法包括：在晶圆上预先设置包括多个结构相同的测试模块的测试装置；所述测量模块包括多种长度的蛇形金属线，用于提供多种待测阻值；根据预先确定的测量组数以及每组测量时所对应的待测阻值，对测试装置中的每个测试模块进行测量，得到多组测量结果；根据所获得的多组测量结果以及预先设置的阈值确定可稳定测量的阻值范围；根据所确定的可稳定测量的阻值范围，确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度。通过使用上述的方法，可确定晶圆中的蛇形金属线在不降低测量精度时的最小可测长度，从而可有效地减少晶圆上用于设置检测电路的区域的面积，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 晶圆中 蛇形 金属线 小可 长度 方法 | ||
【主权项】：
一种确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法，该方法包括：在晶圆上预先设置包括多个结构相同的测试模块的测试装置；所述测量模块中包括多种长度的蛇形金属线，用于提供多种待测阻值；根据预先确定的测量组数以及每组测量时所对应的待测阻值，对测试装置中的每个测试模块进行测量，得到多组测量结果；根据所获得的多组测量结果以及预先设置的阈值确定可稳定测量的阻值范围；根据所确定的可稳定测量的阻值范围，确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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