[发明专利]精密工件台及其管线设施驱动装置

摘要

本发明提出一种精密运动台及其管线设施驱动装置。管线设施驱动装置用于驱动精密运动台中的管线设施。精密运动台的工作台沿X向可滑动地设置在X向导轨上，X向导轨的两端沿Y向可滑动地设置在两个Y向导轨上，管线设施连接至工作台。管线设施驱动装置包括：两个Y向滑块分别可滑动地设置在两个Y向导轨上，并且随着Y向驱动装置移动；滑块导轨两端分别固定在两个Y向滑块上；X向滑块可滑动地设置在滑块导轨上；管线设施驱动电机连接至X向滑块，用以驱动X向滑块与工作台同步移动，其中管线设施穿过两个Y向滑块之一和X向滑块并固定在其中。管线设施驱动装置利用在X、Y向上对滑块的驱动，减少管线设施X、Y向对于工作台运动的干扰力。

主权项

一种管线设施驱动装置，用于驱动精密运动台中的管线设施，所述精密运动台的工作台沿X向可滑动地设置在X向导轨上，所述X向导轨的两端分别固定在两个Y向驱动装置上，两个Y向驱动装置分别沿Y向可滑动地设置在两个Y向导轨上，所述管线设施连接至所述工作台，其特征是，所述管线设施驱动装置包括：两个Y向滑块，分别可滑动地设置在所述两个Y向导轨上，并且随着所述Y向驱动装置移动；滑块导轨，两端分别固定在所述两个Y向滑块上；X向滑块，可滑动地设置在所述滑块导轨上；以及管线设施驱动电机，连接至所述X向滑块，用以驱动所述X向滑块与所述工作台同步移动，其中所述管线设施穿过并固定在所述两个Y向滑块之一和所述X向滑块中。