[发明专利]红外窗口的氧化铝保护膜制备方法无效
| 申请号： | 200910247645.4 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102115868A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 周东平;赵培 | 申请（专利权）人： | 上海欧菲尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08;G02B1/10 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 200434 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种红外窗口的氧化铝保护膜制备方法，是利用电子束直接蒸发金属铝形成铝原子蒸气，与离子源产生的氧离子在基片表面通过化学反应生成Al2O3沉积在基片表面制备而成。本发明利用Al2O3材料的透明性与硬度，既能实现使用波段高透明、低吸收的光学要求，又能实现高硬度、高质密性的保护要求。通过化学反应沉积的Al2O3薄膜与基片的附着力好，致密性与硬度高，能对基片起到良好的保护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 窗口 氧化铝 保护膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种红外窗口的氧化铝保护膜制备方法，是在红外窗口基片的两面分别制备一层Al2O3保护膜，其特征在于：所述的Al2O3保护膜是利用电子束直接蒸发金属铝形成铝原子蒸气，与离子源产生的氧离子在基片表面通过化学反应生成Al2O3沉积在基片表面制备而成。
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