[发明专利]红外焦平面探测器封装窗口及其制作方法无效
| 申请号： | 200910247646.9 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102117842A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 周东平;赵培 | 申请（专利权）人： | 上海欧菲尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0203 | 分类号： | H01L31/0203;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 200434 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种红外焦平面探测器封装窗口及其制作方法，封装窗口包括基片，基片正面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜，基片背面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜，四周镀制有用于封装的金属薄膜。制作方法是红外光学薄膜与金属薄膜均用真空热蒸发方法镀制。本发明将封装窗口的波长截止功能与真空封装功能集成在一起，在一块基片上同时实现了两种功能，不仅提高了封装成品率而且解决了原有封装窗口真空漏气的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 平面 探测器 封装 窗口 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种红外焦平面探测器封装窗口，其特征在于：包括基片，基片正面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜，基片背面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜，四周镀制有用于封装的金属薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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