[发明专利]靶材生产用锭材的制备方法无效
申请号: | 200910251359.5 | 申请日: | 2009-12-03 |
公开(公告)号: | CN101704076A | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;钱红兵;刘庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B22D11/119 | 分类号: | B22D11/119;B22D1/00;C23C14/28 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 315400 浙江省余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种靶材生产用锭材的制备方法,包括:提供母材,并将所述母材置于真空熔炼炉中,所述母材为原铝;将所述真空熔炼炉中的母材熔融;对所述熔融金属进行脱气处理;从熔融金属中取样,进行制品分析;将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器,进行连续铸造,形成靶材生产用锭材,所述浇道内设置有至少一道的滤网。本发明工艺简单、稳定,易于控制,具有较高的生产效率且形成的靶材纯度高。 | ||
搜索关键词: | 生产 用锭材 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种靶材生产用锭材的制备方法,其特征在于,包括:提供母材,并将所述母材置于真空熔炼炉中,所述母材为原铝;将所述真空熔炼炉中的母材熔融;对所述熔融金属进行脱气处理;从熔融金属中取样,进行制品分析;将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器,进行连续铸造,形成靶材生产用锭材,所述浇道内设置有至少一道的滤网。
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