[发明专利]固态成像器件及其制造方法、电子设备、以及半导体器件

摘要

本发明提供了固态成像器件及其制造方法、电子设备、以及半导体器件。固态成像器件包括：光电二极管，其针对像素区域中的每个像素分隔形成，其中，多个像素被集成在半导体衬底的光接收表面上；绝缘膜，其形成在半导体衬底上，以覆盖光电二极管；凹部，其针对每个像素形成在光电二极管的上部中的绝缘膜中；硅氧烷树脂的第一光透射层，其在像素区域中被形成为填充凹部并构造光学波导；第二光透射层，其在像素区域中被形成为针对每个像素构造片上透镜；以及保护环，其被形成为围绕像素区域的外周，以将外划片区域和包含像素区域的内区域分隔。

主权项

一种固态成像器件，包括：光电二极管，其针对像素区域中的每个像素分隔形成，其中，多个像素被集成在半导体衬底的光接收表面上；绝缘膜，其形成在所述半导体衬底上，以覆盖所述光电二极管；凹部，其针对每个所述像素形成在所述光电二极管的上部中的所述绝缘膜中；硅氧烷树脂的第一光透射层，其在所述像素区域中被形成为填充所述凹部并构造光学波导；第二光透射层，其在所述像素区域中被形成为针对每个所述像素构造片上透镜；以及保护环，其被形成为围绕所述像素区域的外周，以将外划片区域和包含所述像素区域的内区域分隔；其中，还在所述保护环附近和所述划片区域中形成所述第一光透射层和所述第二光透射层，使得在所述保护环附近和在所述划片区域中，所述第一光透射层的表面高度低于所述保护环的表面高度，并且所述第一光透射层和所述第二光透射层之间的界面与所述保护环接触，并且在所述划片区域内将所述器件划片。