[发明专利]检查装置和检查方法

摘要

一种检查装置，所述检查装置用于利用数据量相对少的扩展系数对对象(样品)进行检查(例如执行对所述对象的识别或者成像)。所述检查装置包括：变换单元，所述变换单元对利用由检测单元检测到的太赫兹波而获得的太赫兹时间波形执行小波变换。此外，所述检查装置包括选择单元，所述选择单元从所述小波变换中的第一展开系 数中选择预先存储的并且包括在所述第一展开系数中的第二展开系数。此外，所述检查装置包括比较单元，所述比较单元用于将所述第二展开系数的第一值与由所述选择单元选择的所述第二展开系数的第二值进行比较。

主权项

一种用于检查对象的检查装置，所述检查装置包括：照射单元，所述照射单元用于用太赫兹波照射所述对象；检测单元，所述检测单元用于检测从所述对象获得的太赫兹波；变换单元，所述变换单元用于对利用由所述检测单元检测到的所述太赫兹波而获得的所述太赫兹波的时间波形执行小波变换；选择单元，所述选择单元用于从所述小波变换中的第一展开系数中选择预先存储的第二展开系数，并且所述第二展开系数包括在所述第一展开系数中；以及比较单元，所述比较单元将所述第二展开系数的第一值与由所述选择单元选择的所述第二展开系数的第二值进行比较。