[发明专利]一种电离规的抽速和出气率的测量装置及方法有效
| 申请号： | 200910259343.9 | 申请日： | 2009-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101710014A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 成永军;李得天;冯焱;郭美如 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 730000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明的一种电离规的抽速和出气率的测量装置及方法，特别是采用气体微流量技术实现电离规的抽速和出气率测量的装置及方法，属于测量技术领域。该装置由流量计、可变流导阀、被测电离规、参考规、上真空室、限流小孔、下真空室、抽气机组组成。本发明采用固定流导法气体微流量计提供已知气体流量，流量测量范围宽，测量不确定度小；被测电离规的抽速和出气率值能够精确计算。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电离 出气 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电离规的抽速和出气率的测量装置，它由流量计(1)、可变流导阀(2)、被测电离规(3)、参考规(4)、上真空室(5)、限流小孔(6)、下真空室(7)和抽气机组(8)组成；其连接关系为：流量计(1)与上真空室(5)通过可变流导阀(2)连接，上真空室(5)和下真空室(7)连在一起，中间通过限流小孔(6)隔开，被测电离规(3)和参考规(4)直接连接在上真空室(5)上，抽气机组(8)与下真空室(7)相连并从中抽出气体。
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