[发明专利]双电容非接触式厚度测量系统无效
| 申请号： | 200910260041.3 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102109318A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 卓家轩 | 申请（专利权）人： | 财团法人精密机械研究发展中心 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双电容非接触式厚度测量系统，其包含一基准导电板，其具有一第一基准面及一第二基准面；一滑座配置相对的第一电容位移感测器与第二电容位移感测器，且第一、第二电容位移感测器分别相对第一、第二基准面；一基准滚轮位在该基准导电板一端，其直径大于第一基准面与第二基准面间的距离；如此第一、第二电容位移感测器可分别自第一基准面及第二基准面取得一基准讯号，当待测量物进入测量系统，则第一、第二电容位移感测器可分别自待测量物的表面取得一测量讯号，通过计算基准讯号与测量计号可以获知待测量物的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 接触 厚度 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种双电容非接触式厚度测量系统，是用以测量一待测量物的厚度，其特征在于，其包含：一基准导电板，其具有一第一基准面及一第二基准面；一第一电容位移感测器，可活动且相对该第一基准面；一第二电容位移感测器，可移动且相对该第二基准面；其中该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该第一基准面及该第二基准面取得一基准讯号，且该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该待测量物的表面取得一测量讯号。
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