[发明专利]混合气体的供给方法和混合气体的供给装置

摘要

本发明提供一种混合气体的供给方法和混合气体的供给装置，在使用通过加热液体原料使其气化而成的液体原料气体的情况下，与现有技术相比，能够减少在利用加热器进行的加热中所需的电量，能够实现节能化。在同时供给从气体供给源以气体状态供给的通常气体和使用带有气化单元的流量控制器(14)将从液体原料供给源供给的液体原料加热使其气化而成的液体原料气体时，从与通常气体相比距离气体出口部(51)较近的位置所设置的上述单独气体供给管线(1A)供给液体原料气体，并且将液体原料气体供给到用于除去通常气体中的颗粒的过滤器(53)的后级。

主权项

一种混合气体的供给方法，通过连接在公共配管上的多个单独气体供给管线供给多种气体，通过所述公共配管的气体出口部利用混合气体供给管线向气体使用对象供给该多种气体的混合气体，该混合气体的供给方法的特征在于：在同时供给从气体供给源以气体状态供给的通常气体和使用气化单元对从液体原料供给源供给的液体原料进行加热使其气化而得到的气体时，从与通常气体相比距离所述气体出口部较近的位置设置的所述单独气体供给管线供给所述液体原料气体，并且，将所述液体原料气体供给到用于除去所述通常气体中的颗粒的过滤器的后级。