[发明专利]改性聚合物材料表面相互作用的方法和工艺有效
| 申请号： | 200910261311.2 | 申请日： | 2009-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101872115A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 雅各布·尼尔松;马蒂亚斯·凯尔;约翰·林;巴巴克·海达里 | 申请（专利权）人： | 奥贝达克特公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/027;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张英 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种改性聚合物材料表面相互作用的方法和工艺。本发明提供的可固化材料含有光反应性的化合物，具体而言，是光引发剂和可聚合单-或多官能团单体如丙烯酸酯(盐)或环氧化物。这种材料也可以含有用在固化时能够以共价键键接至化学组合物的官能团完全或部分封端的氟表面活性剂。可固化组合物可以是纯丙烯酸酯(盐)基的杂混物，或可以是不同类型单体如丙烯酸酯(盐)、环氧化物或乙烯基醚的杂混物。可聚合单体可以采用不同的光引发剂如自由基光引发剂或阳离子型光引发剂进行固化，而最终形成含有不同类型的单体如丙烯酸酯(盐)和环氧化物互穿网络的杂混抗蚀剂。丙烯酸酯(盐)/环氧化物杂混体系已经表明，由于丙烯酸酯(盐)的转化率提高，收缩性降低，对于高纳米刻印光刻技术工艺方法保真度，改进了复制性能。 | ||
| 搜索关键词： | 改性 聚合物 材料 表面 相互作用 方法 工艺 | ||
【主权项】：
一种提供应用于两步刻印方法中的用于将图案从防粘附压模转印到IPS上并采用所述图案化的IPS作模板而将图案转印到基底物抗蚀剂的表面上的可光聚合的IPS材料的方法，所述IPS材料含有能够引发聚合的光引发剂或催化剂、可聚合的单-或多官能团单体和用在固化时能够以共价键键接至所述抗蚀剂的官能团完全或部分封端的氟表面活性剂。
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