[发明专利]一种石英坩埚涂钡工艺及其产品无效
申请号: | 200910261405.X | 申请日: | 2009-12-12 |
公开(公告)号: | CN101759347A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 王文庆;王定永 | 申请(专利权)人: | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C30B15/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315480 浙江省余姚市朗*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种石英坩埚涂钡工艺及其产品,石英坩埚涂钡工艺步骤包括:在18英寸到28英寸坩埚石墨模具中加入石英砂,在转数为80-105转/分钟的模具旋转过程中,加热升温达到2400-2900℃;石英砂在模具旋转离心力作用下熔化成型,然后用振动器振动;用石英管向模具内导入70-3500克化合钡,在高温下和坩埚内壁石英砂反应,生成厚度为0.04-1mm的硅酸钡;待坩埚冷却后在氢氟酸液体中浸泡除杂,再用纯水冲洗,在无尘室内净化风干包装。经涂钡的坩埚产品在1420℃的高温状态下长期使用,不会变形;能有效使用50-180小时,使炼出来的单晶硅棒长度增加25%左右。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 工艺 及其 产品 | ||
【主权项】:
一种石英坩埚涂钡工艺,其特征在于,石英坩埚涂钡工艺步骤包括:在18英寸到28英寸坩埚石墨模具中加入石英砂,在转数为70-150转/分钟的模具旋转过程中,加热升温达到2400-2900℃;石英砂在模具旋转离心力作用下熔化成型,然后用振动器振动;用石英管向模具内导入70-3500克化合钡,在高温下和坩埚内壁石英砂反应,生成厚度为0.04-1mm mm的硅酸钡;待坩埚冷却后在氢氟酸液体中浸泡除杂,再用纯水冲洗,在无尘室内净化风干包装。
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