[发明专利]一种检验晶片对准的方法有效
| 申请号： | 200910261621.4 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN102103335A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 何如兵;陈鹏;吴广州;张聪 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种检验晶片对准的方法，以对准正常的晶片为标准，在机台中存储该晶片的图形信息，在该晶片上选取一个或多个检验点并在机台内建立程序，根据在目镜中观察到的被测晶片在检验点的图形，可以简单且精确地确定被测晶片的对准程度。提高实际生产过程中晶片对准不良的早期判断能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检验 晶片 对准 方法 | ||
【主权项】：
一种检验晶片对准的方法，其特征在于包括：步骤1：以对准正常的晶片为标准，在机台中存储该晶片的图形信息，在该晶片上选取一个或多个检验点并在机台内建立程序；步骤2：根据在目镜中观察到的被测晶片在检验点的图形，确定被测晶片的对准程度。
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