[发明专利]研磨机盘面整形修正轮无效
| 申请号： | 200910263282.3 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101708594A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 唐发远;李太保 | 申请（专利权）人： | 南京华联兴电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/02 | 分类号： | B24B53/02 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是研磨机盘面整形修正轮，其结构是由传动轮与整形轮两部分组成，传动轮啮合在外齿圈与整形轮之间，从而保证整形轮沿着内齿圈做圆周运动，外齿圈接研磨机中心轴。整形轮在下研磨盘与上研磨盘之间。本发明的优点：通过整形轮沿着内齿圈做匀速圆周运动，可以在较短的时间内，使盘面的水平度和平整度达到要求，从而提高水晶片厚度率的一致性，提高水晶片品质。同时，传动轮与整形轮的运动，可以达到清洗内外齿圈的目的，从而减少游轮消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨机 盘面 整形 修正 | ||
【主权项】：
研磨机盘面整形修正轮，其特征是由传动轮(4)与整形轮(3)两部分组成，传动轮(4)啮合在外齿圈(5)与整形轮(3)之间，从而保证整形轮(3)沿着内齿圈(1)做圆周运动。
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