[发明专利]相位调制凹槽阵列微型光谱仪

摘要

相位调制凹槽阵列微型光谱仪包括一个构建在基底(3)中的微型干涉仪二维阵列，每个微型干涉仪设有第一凹槽(1)，在不同的微型干涉仪中的第一凹槽(1)在基底(3)里的深度不同，在基底(3)的下表面设有CCD(4)，在基底(3)和CCD(4)中间有一层遮挡物(5)；遮挡物(5)把大部分CCD面元遮住，但在每一个微型干涉仪下方的遮挡物(5)上留有透光孔，透光孔的孔径小于CCD(4)所能探测到的入射光波的最小波长，透光孔位于第一凹槽下方的任意位置；在微型干涉仪二维阵列的上方有两个共焦的透镜(6)，在两个共焦的透镜(6)之间的焦点处的遮光板中有一个小孔(7)。解决了体积较大、对振动敏感、制作成本较高、分辨率较低、波长测量范围较窄等技术问题。

主权项

一种相位调制凹槽阵列微型光谱仪，其特征在于该光谱仪包括一个构建在基底(3)中的微型干涉仪二维阵列，每个微型干涉仪设有第一凹槽(1)，在不同的微型干涉仪中的第一凹槽(1)在基底(3)里的深度不同，在基底(3)的下表面设有CCD(4)，在基底(3)和CCD(4)中间有一层遮挡物(5)；遮挡物(5)把大部分CCD面元遮住，但在每一个微型干涉仪下方的遮挡物(5)上留有透光孔，透光孔的孔径小于CCD(4)所能探测到的入射光波的最小波长，透光孔位于第一凹槽下方的任意位置；为了提高整个器件的灵敏度，透光孔位于第一凹槽(1)边缘的正下方，如果凹槽宽度在两个入射光最大波长以内，透光孔位于第一凹槽的中央；第一凹槽的宽度与入射光波波长处于同一量级，第一凹槽的最大深度也为入射光波波长量级，在微型干涉仪二维阵列的上方有两个共焦的透镜(6)，在两个共焦的透镜(6)之间的焦点处的遮光板中有一个小孔(7)。