[发明专利]芯片分拣设备的顶针机构有效
申请号: | 200910266233.5 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN101740451A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 李斌;黄禹;郑振华;吴涛;李海洲;龚时华;尹旭升 | 申请(专利权)人: | 东莞华中科技大学制造工程研究院;东莞市华科制造工程研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/00 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 卞华欣 |
地址: | 523808 广东省东莞市松山湖科技*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 芯片分拣设备的顶针机构,包括机架,固定于机架的套筒,可升降地设置于套筒内的顶针轴,固定于顶针轴顶端的顶针,以及驱动顶针轴上下运动的驱动机构,顶针轴外缘与套筒内缘之间形成有负压腔,负压腔顶部封盖有顶盖,该顶盖开设有通气孔及供顶针伸出的针孔,顶针轴内开设有连通负压腔的排气通道,该排气通道通过设置于顶针轴下部的气动接头与负压装置连接;工作时,负压装置启动,抽取负压腔内的空气,通过通气孔吸附顶盖上方的翻晶膜,当顶针伸出并刺破翻晶膜时,仅有吸附于顶盖表面的部分翻晶膜变形,顶针行程缩短,提高了分拣效率,且延长了使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 芯片 分拣 设备 顶针 机构 | ||
【主权项】:
芯片分拣设备的顶针机构,包括机架,以及固定于机架的竖向套筒,所述套筒内设置有可升降的顶针轴,所述顶针轴顶端固定有顶针,顶针轴与一驱动顶针轴作上下运动的驱动机构连接,其特征在于:所述顶针轴外缘与套筒内缘之间形成有负压腔,所述负压腔顶部封盖有顶盖,该顶盖开设有通气孔及供顶针伸出的针孔,所述顶针轴内开设有连通所述负压腔的排气通道,该排气通道通过设置于顶针轴下部的气动接头与负压装置连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造