[发明专利]芯片分拣设备的顶针机构有效

专利信息
申请号: 200910266233.5 申请日: 2009-12-23
公开(公告)号: CN101740451A 公开(公告)日: 2010-06-16
发明(设计)人: 李斌;黄禹;郑振华;吴涛;李海洲;龚时华;尹旭升 申请(专利权)人: 东莞华中科技大学制造工程研究院;东莞市华科制造工程研究院有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/00
代理公司: 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 代理人: 卞华欣
地址: 523808 广东省东莞市松山湖科技*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 芯片分拣设备的顶针机构,包括机架,固定于机架的套筒,可升降地设置于套筒内的顶针轴,固定于顶针轴顶端的顶针,以及驱动顶针轴上下运动的驱动机构,顶针轴外缘与套筒内缘之间形成有负压腔,负压腔顶部封盖有顶盖,该顶盖开设有通气孔及供顶针伸出的针孔,顶针轴内开设有连通负压腔的排气通道,该排气通道通过设置于顶针轴下部的气动接头与负压装置连接;工作时,负压装置启动,抽取负压腔内的空气,通过通气孔吸附顶盖上方的翻晶膜,当顶针伸出并刺破翻晶膜时,仅有吸附于顶盖表面的部分翻晶膜变形,顶针行程缩短,提高了分拣效率,且延长了使用寿命。
搜索关键词: 芯片 分拣 设备 顶针 机构
【主权项】:
芯片分拣设备的顶针机构,包括机架,以及固定于机架的竖向套筒,所述套筒内设置有可升降的顶针轴,所述顶针轴顶端固定有顶针,顶针轴与一驱动顶针轴作上下运动的驱动机构连接,其特征在于:所述顶针轴外缘与套筒内缘之间形成有负压腔,所述负压腔顶部封盖有顶盖,该顶盖开设有通气孔及供顶针伸出的针孔,所述顶针轴内开设有连通所述负压腔的排气通道,该排气通道通过设置于顶针轴下部的气动接头与负压装置连接。
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