[发明专利]衬底处理装置和平板显示器的制造装置无效
| 申请号： | 200910266362.4 | 申请日： | 2009-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN101762897A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 比佐隆文;武田正臣;玉本淳一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种衬底处理装置和平板显示器的制造装置，通过省略检查工作台，实现装置构成的紧凑化和生产率的提高。为此，包括：在各处理工作台(20)中进行处理后把屏衬底(1)向下一个处理工作台(20)间距传送的可动轨(32)；设置在处理工作台(20)内或者前后的处理工作台(20)之间、为了对屏衬底(1)进行拍摄而在与屏衬底(1)的传送方向垂直的方向上排列了光接收元件的线阵传感器相机(41)；检测屏衬底(1)的移动速度的编码器检测传感器(61)；以及利用线阵传感器相机(41)取得的影像信号生成帧图像的图像处理装置(43)，基于编码器检测传感器(61)检测的移动速度进行修正以使得影像信号的间隔成为等间隔，生成帧图像。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 装置 平板 显示器 制造 | ||
【主权项】：
一种衬底处理装置，设置有对衬底进行处理的多个处理工作台，其特征在于包括：在各处理工作台中进行处理后把上述衬底向下一个处理工作台间距传送的衬底移动单元；设置在上述处理工作台内或者前后的处理工作台之间、为了对上述衬底进行拍摄而在与上述衬底的传送方向垂直的方向上排列了光接收元件的线阵传感器相机；检测上述衬底的移动速度的移动速度检测单元；以及利用上述线阵传感器相机取得的影像信号生成帧图像的图像处理单元，基于上述移动速度检测单元检测的上述移动速度进行修正以使得上述影像信号的间隔成为等间隔，生成上述帧图像。
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