[发明专利]一种用于真空环境的减振器有效
| 申请号： | 200910273182.9 | 申请日： | 2009-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101725662A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李小平;廖飞红;陈学东;李巍;刘雷钧;罗欣;徐振高;曾理湛 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F16F15/023 | 分类号： | F16F15/023 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 环境 减振器 | ||
【主权项】：
一种用于真空环境的减振器，包括腔体(17)，腔体(17)内设有由气缸(12)和活塞(3)构成的空气弹簧，气缸(12)的侧臂连接高压气源(15)，气缸(12)底部与腔体(17)底部之间、气缸(12)内侧壁分别设有一气浮，其特征在于，腔体(17)的两侧壁中间部分分别嵌入了密封柔性连接件(5)，其中一侧臂还设有用以连接抽气机(7)的排气孔(8)。
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