[发明专利]溅镀装置无效
| 申请号： | 200910300581.X | 申请日： | 2009-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101818326A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅镀装置，其包括溅镀腔、设置于溅镀腔内的溅射靶与至少一个承载架，其特征在于，每个承载架包括转动设置于溅镀腔内的主轴与至少一个用于固持待溅镀工件的挂具，每个挂具包括垂直于该主轴的转动轴，以及固定在该转动轴一端的固持件，该主轴内安装有用以驱动该转动轴相对该主轴转动的驱动机构。该溅镀装置提高所镀膜层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其包括溅镀腔、设置于溅镀腔内的溅射靶与至少一个承载架，其特征在于，每个承载架包括转动设置于溅镀腔内的主轴与至少一个用于固持待溅镀工件的挂具，每个挂具包括垂直于该主轴的转动轴，以及固定在该转动轴一端的固持件，该主轴内安装有用以驱动该转动轴相对该主轴转动的驱动机构。
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