[发明专利]坩埚及真空蒸镀系统无效
| 申请号： | 200910302893.4 | 申请日： | 2009-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101906610A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种坩埚，用于放置颗粒状膜料；所述坩埚包括一底板、一侧壁及多个通风管道；所述底板上设置有一载料区，用于承载颗粒状膜料；所述侧壁垂直固设于底板边缘，并与所述底板形成一容置空间；所述每个通风管道包括一进气端和一出气端；多个通风管道容置于所述容置空间内，且其进气端固设于侧壁上且与侧壁上的通风口相连通，出气端朝向于底板并围绕所述载料区分布。本发明通过通风管道对放置于载料区的颗粒状膜料进行加热，去除膜料间所含有的水气，从而有效保证了镀膜质量。本发明还提供一种真空蒸镀系统。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种坩埚，用于放置颗粒状膜料；其特征在于：所述坩埚包括一底板、一侧壁及多个通风管道；所述底板上设置有一载料区，用于承载颗粒状膜料；所述侧壁垂直固设于底板边缘，并与所述底板形成一容置空间；所述每个通风管道包括一进气端和一出气端；多个通风管道容置于所述容置空间内，且其进气端固设于侧壁上且与侧壁上的通风口相连通，出气端朝向于底板并围绕所述载料区分布。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910302893.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：串联式膜分离石化干气中低浓度氢的方法及其装置
- 下一篇：黄酒成酿方法
- 同类专利
- 专利分类
